ウェーハ外周成形やノッチ成形を面取りするための装置です。 高精度デジタル制御方式で開発された装置で、ウェーハを正確かつ効率的に処理することができ、各装置には粗研削と精密研削の2つの研削部があります。 同時に、2つのピースが挽かれます。 光アームを使ってウェハを取り、光センサでウェハ位置のキャリブレーションを行い、処理後はスピンドライにより乾燥した状態でスタック内にリサイクルされます。 フィードバックの厚さや面取りなどの処理データの機能を調整して、上下の面取りを一致させることができます。 ウェハに周縁加工、ＯＦエッジ、ノッチ加工を施すことが可能であり、異形加工も可能であり、Ａメサ、Ｂメサともに異なる種類のワークを同時に加工することが可能である。
